真空燒結爐設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，用於半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備，主要是在真空或者是保護氣氛的條件下，通過利用中頻感應加熱的原理，讓硬質的合金刀頭以及各種金屬粉末壓制體實現燒結的一個成套設備，是專門爲硬質合金、陶瓷材料以及金屬的工業生產而設計的，它是在真空環境裏面對被加熱物體進行保護性燒結的爐子。
主要優點：
1.減少了氣氛中有害成分(水、氧、氮)對產品的不良影響。例如要使電解氫氣中含水量降至一4。℃的露點是相當困難的，而真空度只要達到133Pa就相當於含水量爲一4。℃的露點。而獲得這樣的真空度是並不困難的。
2.對於不宜用還原性或惰性氣體作保護氣氛(如活性金屬的燒結)，或容易出現脫碳、滲碳的材料均可用真空燒結。
3.真空可改善液相對固相的潤溼性，有利於收縮和改善合金的組織。
4真空燒結有助於硅、鋁、鎂、鈣等雜質或其氧化物的排除，起到淨化材料的作用。
5.真空有利於排除吸附氣體、孔隙中的殘留氣體以及反應氣體產物，對促進燒結後期的收縮有明顯作用。如真空燒結的硬質合金的孔隙度要明顯低於在氫氣中燒結的硬質合金。
6.真空燒結溫度比氣體保護燒結的溫度要低一些，如燒結硬質合金時燒結溫度可降低10。~150℃。這有利於降低能耗和防止晶粒長大。
真空燒結爐的安全操作規程：
1.中頻電源、真空爐爐體、感應圈之冷卻水源——蓄水池之水必須充滿，水中不得有雜質。
2.開動水泵，使其中頻電源，真空爐感應圈、爐體冷卻系統水循環正常，並調整水壓控制在規定值。
3.檢查真空泵電源系統，皮帶盤皮帶鬆緊，真空泵油是否位於油封觀察孔中線。檢查妥後，人工轉動真空泵皮帶盤，如無異常，可在關閉蝶閥的情況下，啓動真空泵。
4.檢查真空爐體內情況，要求真空爐體內一級衛生，感應圈絕緣良好，密封真空膠帶具有彈性，尺寸合格。
5.檢查真空爐體的槓桿手把啓動是否靈活。
6.檢查轉動式麥氏真空計是否合乎要求。
7.檢查石墨坩堝，裝爐配件是否齊全。
8.在以上準備就緒後，接通電源，中頻電源合閘，按中頻啓動規則，試啓動變頻，成功後停止變頻，方可開爐。
9.真空爐體上蓋的觀察、測溫孔，每次開爐均需清潔處理，以便觀察和測溫。
10.裝爐時應根據不同燒結產品，採取相應裝爐方式。按有關材質裝爐規則裝盤，不得隨意更改。
11.爲了保持恆溫，防止熱輻射，發熱坩堝上加二層碳纖維，再罩上隔熱屏。
12.墊好真空密封膠帶。
13.操作槓桿手把，轉動真空爐頂蓋與爐體密切重合，放下頂蓋，並鎖好固定螺母。
14.徐徐打開蝶閥，抽爐體空氣，至真空度達到規定值。
15.在真空度達到規定要求後，開始啓動變頻，調整中頻功率，按有關材質的燒結規定操作;升溫、保溫冷卻。
16.燒結完畢後，停止變頻，按停止變頻開關，逆變停止工作，斷開中頻電源分閘與斷開電源總閘。
17.從爐體觀察孔觀察爐膛發黑後，先關閉真空泵蝶閥與斷開真空泵電流，再接自來水繼續冷卻感應圈和爐體，再停水泵。
18.中頻電壓750伏有觸電危險。在整個操作和檢查過程中，要注意操作安全，不要用手接觸中頻電櫃。
19.在燒結過程中，隨時從爐體側面觀察孔觀察感應圈是否發生放弧現象，如發現異常現象，應立即報告有關人員處理。
20.啓動真空蝶閥應緩慢，否則會因抽氣過急而冒油，帶來不良後果。
21.正確使用轉動式麥氏真空計，否則會造成真空讀數誤差或因操作過急而使水銀溢出造成公害。
22.注意真空泵皮帶盤安全運行。
23.在墊真空密封膠帶，蓋爐體頂蓋時，注意防止壓手。
24.凡在真空條件下，容易揮發影響真空衛生，造成管道堵塞、真空泵髒化的工件或容器，不得入爐。
25.凡產品加有成型劑(如油或石蠟)，必須脫掉方可入爐燒結，否則會造成不良後果。
26.全部燒結過程中，要注意水錶壓力範圍和冷卻水循環，以免發生事故。
更新時間：2022-08-05
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